全氟醚橡膠(FFKM)是一種完全不含C-H鍵的氟橡膠,在介質(zhì)腐蝕、高溫、高壓、輻射環(huán)境等苛刻條件下,

只有全氟醚橡膠才能適應(yīng),因此,在安全和維護要求嚴格的半導體生產(chǎn)裝置中大顯身手。 
由于在半導體制造中,停產(chǎn)更換密封件代價極高,半導體行業(yè)的密封件和墊圈需要非同尋常的材料。而全氟醚橡膠的高純度和對等離子體、熱和刺激性化學品的極高耐受性為半導體制造如等離子處理、熱處理及濕法工藝等生產(chǎn)裝置的密封提供了出色解決方案,可延長密封壽命,減少污染,進而提高晶圓產(chǎn)量,降低生產(chǎn)成本。而全氟醚橡膠唯一的缺點就是價格太高。 

全氟醚橡膠的性能特點及其在半導體領(lǐng)域的應(yīng)用,全氟醚橡膠絕大多數(shù)被制成密封件,如O型圈、墊圈等產(chǎn)品,應(yīng)用于泵、機械密封、閥門的閥座、連接密封件等高溫、強腐蝕的使用環(huán)境下。